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激光微纳结构加工
成果领域: 高端装备制造
推广方式: 其他
成果归属企业: 西安交通大学
成果鉴定时间:
成果介绍
研发微纳米结构激光加工技术体系:针对纳米结构开发近场刻蚀-化学自组装一体化工艺,突破衍射极限限制,实现4英寸晶圆碳管晶体管批量化制备;针对微米结构创新旋切/铣削/复合切割工艺,攻克大纵横比微孔/ 微槽加工难题。
成果应用案例介绍
联系方式
电话/微信: 13822630888
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