本实用新型公开了一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置。一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，包括具有主轴的加工机床、工作台、设于主轴的圆柱形铣磨头、用于将圆柱形铣磨头修整为圆锥形铣磨头的导电修整轮、用于驱动导电修整轮转动的驱动装置、与圆柱形铣磨头及导电修整轮均电连接的脉冲电源。微型磨头的加工方法，利用上述微型磨头的加工装置对工件加工，圆柱形铣磨头与导电修整轮均开始转动；脉冲电源放电，圆柱形铣磨头按预设的修整轨迹与导电修整轮的侧表面接触；导电修整轮将圆柱形铣磨头修整为圆锥形铣磨头。微型磨头的微阵列加工方法：圆锥形铣磨头按预设的加工轨迹在工件表面加工出微沟槽或微锥塔阵列结构。