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调节ECR离子照射密度控制石墨烯纳晶碳膜生长的方法
成果领域:
推广方式:
成果归属企业: 深圳大学
成果鉴定时间:
成果介绍
本发明实施例提供了一种微模具的制备方法及微模具,其中一种微模具的制备方法包括:建立微模具的几何模型;对所述几何模型进行分层离散得到分层数据;根据所述分层数据制作菲林;采用所述菲林,对涂有感光层的金属箔片进行曝光和蚀刻,得到多个模层;将多个所述模层按照预设顺序叠放焊接,得到目标微模具。通过化学蚀刻和菲林曝光的方法制备模层,将模层一次性焊接成型,其成本低、制备效率高,同时还避免了切割废料清除等繁琐步骤。
成果应用案例介绍
方法过程>制造方法>制造; 材料制品>模具>微型模具
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