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一种电池检测方法、装置及系统
成果领域:
推广方式:
成果归属企业: 深圳大学
成果鉴定时间:
成果介绍
本发明公开了一种在脉冲激光沉积系统中降低Sr2RuO4薄膜制备温度的方法,该发明属于材料制备技术领域。在脉冲激光沉积系统真空腔内充入氮气,从而实现了在降低制备温度的同时制备出高质量的Sr2RuO4薄膜。该方法解决了传统氧环境下脉冲激光沉积制备Sr2RuO4薄膜所需要的超高生长温度问题。此外本方法所用激光能量较低,工艺简单,效率高,可操作性强。
成果应用案例介绍
机械设备>其它机械设备类>脉冲激光沉积系统; 材料制品>膜材>钌酸锶薄膜
联系方式
电话/微信: 13822630888
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